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    技術(shù)文章
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    奉申流量控制器的控制精度
    點(diǎn)擊次數(shù):2679 更新時(shí)間:2014-08-25
         使用過奉申流量控制器的專業(yè)人士應(yīng)該清楚,流量控制器不僅能測(cè)量氣體的流量,具備流量計(jì)的功能,同時(shí)它還能控制流量,因?yàn)樗旧砭哂袡z測(cè)控制電路和流量調(diào)節(jié)閥,是一個(gè)閉環(huán)控制單元。用戶也可以根據(jù)需要在量程范圍內(nèi)任意給定流量設(shè)定值,MFC 會(huì)自動(dòng)跟蹤設(shè)定值而改變流量并穩(wěn)定在設(shè)定值上。
        因?yàn)榉钌炅髁靠刂破髌淇刂破骶雀撸貜?fù)性好,反應(yīng)速度快。因而受到廣大企業(yè)的歡迎與支持。它適合半導(dǎo)體,CVD,擴(kuò)散,真空鍍膜,色譜、光纖熔煉,分析儀器,燃料電池,液晶屏,有機(jī)EL,生物工程,等離子蝕刻,環(huán)境測(cè)試,燃燒氣體控制,試驗(yàn)設(shè)備,焊接,微反應(yīng)裝置、配氣和混氣系統(tǒng)等各個(gè)環(huán)節(jié)、各個(gè)制造過程中的流量控制。
     

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